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Microscopies

publié le , mis à jour le

Microscopie électronique à balayage

Cet instrument est accessible aux utilisateurs CP6 dans le cadre de collaborations et aux scientifiques hébergés sur la plateforme IPANEMA. Merci de prendre contact avec Mathieu Thoury (mathieu.thoury(at)synchrotron-soleil.fr) pour toute question relative au microscope électronique à balayage.

Le microscope électronique à balayage équipé d’un système de microanalyse X est mis en opération conjointement par IPANEMA et la Division Expériences de SOLEIL.

Caractéristiques principales du MEB-FEG ZEISS Supra55VP
Canon à émission Schottky (ZrO/W)
Tensions 0.02 - 30 keV
Courants 4 pA - 20 nA
Diaphragmes 7.5, 10, 20, 30, 60, 120 μm
Hauteur max de l’échantillon 55 mm
Pression contrôlée 0.02—1.33 mbar
Détecteurs d’électrons secondaires Everhart-Thorley dit SE2, détecteur dans la lentille dit In Lens
Détecteurs d’électrons rétrodiffusés AsB, In Lens à basse tension dit SEEF
Détecteurs d’électrons secondaires sous pression contrôlée Gas Luminescent Detector dit VPSE
Détecteur pour l’EDS SDD (Bruker) 30 mm2

logiciels de quantification et de mesure d’épaisseur de couches

Distance de travail pour l’EDS 6.5 mm
Performances des instruments Résolution en imagerie d’électrons secondaires sur Au/C à 20 kV avec détecteur In Lens : 1 nm

Meilleure résolution mesurée du détecteur SDD 30 mm2 : 126,5 eV sur K Mn à 20 kcps

Références bibliographiques (bientôt en ligne)

MEB-FEG
MEB sous pression contrôlée
Analyse EDS - modèles de quantification

Spectro-microscopie infrarouge

Cet instrument est accessible aux utilisateurs CP6 dans le cadre de collaborations et aux scientifiques hébergés sur la plateforme IPANEMA. Merci de prendre contact avec Mathieu Thoury (mathieu.thoury(at)synchrotron-soleil.fr) pour toute question relative au spectro-microscope infrarouge.

Caractéristiques principales du microscope infrarouge imageur
Spectromètre Bruker Vertex 70
Détecteur DTGS extension infrarouge lointain (8000-180 cm-1)
Microscope Bruker Hyperion 3000
Détecteurs simple élément MCT A bande moyenne 100 µm (10000-600 cm-1)

MCT B bande large 100 µm (10000-420 cm-1)

Détecteur imageur FPA 64x64 pixels (4000-860 cm-1)
Objectif visible 4x N.A. 0.1, distance de travail 21 mm
Objectifs infrarouge 15x N.A. 0.4, distance de travail 24 mm

15x N.A. 0.6, distance de travail 19 mm

 Objectif ATR 20x pointe germanium 100 µm, zone imagée 32 x 32 µm2
Polariseur visible
Fluorescence Source mercure
Table motorisée 100 x 80 mm2
Logiciel OPUS 6

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