Microscopie électronique à balayage
Cet instrument est accessible aux utilisateurs CP6 dans le cadre de collaborations et aux scientifiques hébergés sur la plateforme IPANEMA. Merci de prendre contact avec Mathieu Thoury (mathieu.thoury(at)synchrotron-soleil.fr) pour toute question relative au microscope électronique à balayage.
Le microscope électronique à balayage équipé d’un système de microanalyse X est mis en opération conjointement par IPANEMA et la Division Expériences de SOLEIL.
| Canon | à émission Schottky (ZrO/W) |
| Tensions | 0.02 - 30 keV |
| Courants | 4 pA - 20 nA |
| Diaphragmes | 7.5, 10, 20, 30, 60, 120 μm |
| Hauteur max de l’échantillon | 55 mm |
| Pression contrôlée | 0.02—1.33 mbar |
| Détecteurs d’électrons secondaires | Everhart-Thorley dit SE2, détecteur dans la lentille dit In Lens |
| Détecteurs d’électrons rétrodiffusés | AsB, In Lens à basse tension dit SEEF |
| Détecteurs d’électrons secondaires sous pression contrôlée | Gas Luminescent Detector dit VPSE |
| Détecteur pour l’EDS | SDD (Bruker) 30 mm2
logiciels de quantification et de mesure d’épaisseur de couches |
| Distance de travail pour l’EDS | 6.5 mm |
| Performances des instruments | Résolution en imagerie d’électrons secondaires sur Au/C à 20 kV avec détecteur In Lens : 1 nm
Meilleure résolution mesurée du détecteur SDD 30 mm2 : 126,5 eV sur K Mn à 20 kcps |
Références bibliographiques (bientôt en ligne)
MEB-FEG
MEB sous pression contrôlée
Analyse EDS - modèles de quantification
Spectro-microscopie infrarouge
Cet instrument est accessible aux utilisateurs CP6 dans le cadre de collaborations et aux scientifiques hébergés sur la plateforme IPANEMA. Merci de prendre contact avec Mathieu Thoury (mathieu.thoury(at)synchrotron-soleil.fr) pour toute question relative au spectro-microscope infrarouge.
| Spectromètre | Bruker Vertex 70 |
| Détecteur | DTGS extension infrarouge lointain (8000-180 cm-1) |
| Microscope | Bruker Hyperion 3000 |
| Détecteurs simple élément | MCT A bande moyenne 100 µm (10000-600 cm-1)
MCT B bande large 100 µm (10000-420 cm-1) |
| Détecteur imageur | FPA 64x64 pixels (4000-860 cm-1) |
| Objectif visible | 4x N.A. 0.1, distance de travail 21 mm |
| Objectifs infrarouge | 15x N.A. 0.4, distance de travail 24 mm
15x N.A. 0.6, distance de travail 19 mm |
| Objectif ATR | 20x pointe germanium 100 µm, zone imagée 32 x 32 µm2 |
| Polariseur visible | |
| Fluorescence | Source mercure |
| Table motorisée | 100 x 80 mm2 |
| Logiciel | OPUS 6 |