Microscopie électronique à balayage
Cet instrument est accessible aux utilisateurs CP6 dans le cadre de collaborations et aux scientifiques hébergés sur la plateforme IPANEMA. Merci de prendre contact avec Mathieu Thoury pour toute question relative au microscope électronique à balayage.
Le microscope électronique à balayage équipé d’un système de microanalyse X est mis en opération conjointement par IPANEMA et la Division Expériences de SOLEIL.
| Canon | à émission Schottky (ZrO/W) |
| Tensions | 0.02 – 30 kV |
| Courants | 4 pA – 20 nA |
| Diaphragmes | 7.5, 10, 20, 30, 60, 120 μm |
| Hauteur max de l’échantillon | 55 mm |
| Pression contrôlée | 0.02—1.33 mbar |
| Détecteurs d’électrons secondaires | Everhart-Thorley dit SE2, détecteur dans la lentille dit In Lens |
| Détecteurs d’électrons rétrodiffusés | AsB, In Lens à basse tension dit SEEF |
| Détecteurs d’électrons secondaires sous pression contrôlée | Gas Luminescent Detector dit VPSE |
| Détecteur pour l’EDS | SDD (Bruker) 30 mm2 logiciels de quantification et de mesure d’épaisseur de couches |
| Distance de travail pour l’EDS | 7.5 mm |
| Performances des instruments | Résolution en imagerie d’électrons secondaires sur Au/C à 20 kV avec détecteur In Lens : 1 nm Meilleure résolution mesurée du détecteur SDD 30 mm2 : 126,5 eV sur K Mn à 20 kcps |
Références bibliographiques (bientôt en ligne)
MEB-FEG
MEB sous pression contrôlée
Analyse EDS – modèles de quantification
Spectro-microscopie infrarouge
Cet instrument est accessible aux utilisateurs CP6 dans le cadre de collaborations et aux scientifiques hébergés sur la plateforme IPANEMA. Merci de prendre contact avec Mathieu Thoury pour toute question relative au spectro-microscope infrarouge.
| Spectromètre | Bruker Vertex 70 |
| Détecteur | DTGS extension infrarouge lointain (8000-180 cm-1) |
| Microscope | Bruker Hyperion 3000 |
| Détecteurs simple élément | MCT A bande moyenne 100 µm (10000-600 cm-1) MCT B bande large 100 µm (10000-420 cm-1) |
| Détecteur imageur | FPA 64×64 pixels (4000-860 cm-1) |
| Objectif visible | 4x N.A. 0.1, distance de travail 21 mm |
| Objectifs infrarouge | 15x N.A. 0.4, distance de travail 24 mm 15x N.A. 0.6, distance de travail 19 mm |
| Objectif ATR | 20x pointe germanium 100 µm, zone imagée 32 x 32 µm2 |
| Polariseur visible | |
| Fluorescence | Source mercure |
| Table motorisée | 100 x 80 mm2 |
| Logiciel | OPUS 6 |